Используемые материалы:

  1. Официальный сайт Oxford Instruments Plasma Technology;
  2. Сайт www.oxfordplasma.de;
  3. В.Ю. Киреев, А.А. Столяров. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. М: Техносфера, 2006.-192с.
  4. Справочник Шпрингера по нанотехнологиям (в 3-х томах) под ред. Б. Бхушана. М: Техносфера, 2010.