Бабблеры / барботеры
Барботеры или бабблеры – это герметичные ёмкости, которые применяются для хранения и доставки высокочистых прекурсоров в технологические камеры систем плазмохимического осаждения (CVD, MOCVD) и атомно-слоевого осаждения (ALD).
Барботеры — неотъемлемая часть системы доставки химических веществ высокой чистоты в установках электронной промышленности. Эффективная доставка химических соединений (прекурсоров) зависит от конструкции бабблера.
Ниже приведены стандартные размеры и характеристики нашего барботера для CVD и ALD систем. Однако, у нас достаточно опыта и знаний, и мы всегда готовы идти навстречу, чтобы изготовить барботер по согласованным с заказчиком требованиям.
Барботеры — неотъемлемая часть системы доставки химических веществ высокой чистоты в установках электронной промышленности. Эффективная доставка химических соединений (прекурсоров) зависит от конструкции бабблера.
Ниже приведены стандартные размеры и характеристики нашего барботера для CVD и ALD систем. Однако, у нас достаточно опыта и знаний, и мы всегда готовы идти навстречу, чтобы изготовить барботер по согласованным с заказчиком требованиям.
Внешний вид барботера
Барботер для CVD и ALD систем
- Материал: нержавеющая сталь
- Герметичность по потоку гелия: ×10^(-9) мбар л/с.
- Финишная обработка: электрополировка внутри 0,04 Ra, зеркальная полировка снаружи.
- Сварка: орбитальная
- Многоразового использования.
- Доступны разные конфигурации клапанов и портов.
- Горизонтальные конфигурации клапанов.
Сделано в России
Отправить запросНажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с Политикой конфиденциальности |