Подключение
технологических установок
к инфраструктуре заказчика

Организация подачи ОСЧ газов - это самая сложная задача из инфраструктурных при организации подключения и запуска вакуумных технологических установок. Однако, не стоит забывать, что вышеуказанные системы требуют также подачи воды, электричества, сжатого воздуха и магистрального азота и правильной организации выхлопа и вентиляции.

Что нужно при подключении
вакуумной установки?

  • Подача охлаждающей воды
    Подойдет ли оборотная вода предприятия или необходим чиллер?
    Как организовать подачу охлаждающей воды к нескольким потребителям внутри одной установки?
    Как подобрать материал охлаждающих трубок и выбрать тип соединения?
    Нужен совет по подбору хладагента или типу чиллера?

    Разберемся и дадим экспертное мнение.
  • Подключение к электросети предприятия
    Обычно технологические установки подключаются к трехфазной сети, однако помещение должно быть обеспечено и однофазными розетками для подключения периферийных устройств. Чаще всего пользователя вводят в апатию вопросы подбора кабеля, защитных автоматов, УЗО и подобных нудных, но важных вопросов.

    Возьмем на себя эту головную боль.
  • Подключение сжатого воздуха и технического азота
    Для работы пневматических клапанов необходим сжатый воздух, а для продувки газовых линий и вакуумных камер - технический азот. В нашей компетенции вопросы редуцирования, подключения и подбора компрессорного оборудования.
  • Организация отвода выхлопа из насосов и вентиляции
    Ввиду участия во многих технологических процессах производства кристаллов для микроэлектроники опасных газов, ребром встаёт вопрос о безопасном для персонала отвода отработанных газов. В случае необходимости можем организовать поставку устройств для очистки выхлопа (скрубберов).
    Важно также не пренебрегать вопросом подключения кожухов установок к вентиляции предприятия.
  • Монтаж "сквозь стену"

    При наличии у вакуумной технологической установки загрузочного шлюза и желании пользователя организовать загрузку образца из "чистой комнаты", а машину расположить в технической "серой" зоне, то есть возможность сделать, так называемый, монтаж "сквозь стену", при котором пространство шлюза отсекается от основной части установки. Мы имеем опыт организации такого монтажа и делаем это максимально качественно и эстетично.

Отправить запрос

Нажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с Политикой конфиденциальности