- Диапазон расхода (по азоту): 5 - 500 000 sccm (разные модели);
- Диапазон регулирования расхода: 5-100% от полной шкалы;
- Точность регулирования по расходу:
- <+/-0.25% от полной шкалы (2-25%);
- <+/-1% от отсчетной шкалы (25-100%).
- Время отклика: <1 с;
- Линейность: <+/-0,2% от полной шкалы;
- Повторяемость: +/-0,15% от полной шкалы;
- Внутренняя утечка при закрытом клапа;не: <1% от полной шкалы;
- Стабильность 0: <+/-0,5% в год
- Температурный коэффициент: 0,01% по всей шкале на 1°C;
- Материал: STS316L;
- Уплотнение: металлическое;
- Герметичность: <5x10(-12) Па м3/с;
- Температура эксплуатации: 5-50°C;
- Время выхода на режим: 30 мин;
- Рабочее давление: 50-300 кПа;
- Разрывное давление: 1500 кПа;
- Протоколы передачи инф.: D-Net, Ether Cat, RS-485, Analog;
- Питание: +15-24В DC, 320 мА.