Проектирование и создание
инфраструктуры особо чистых газов
для технологических установок
производств микроэлектроники
Наличие дорогостоящего технологического оборудования и наличие особо чистой среды (газа или прекурсора) в ёмкости ставит перед пользователем задачу их соединения. Однако, вопрос правильной организации подачи ОСЧ среды, тем более опасной, к технологическому оборудованию не является тривиальной задачей. Для создания безопасной газовой инфраструктуры потребуется наличие специализированного оборудования, знаний и навыков. 99% процентов пользователей пытаются найти для этого надежного партнера, которым мы и являемся.
Проектирование прокладки
газовых трубопроводов
После получения технического задания и знакомства с помещением на месте специалисты "Техноинфо" начинают готовить проект, даже если конечный пользователь в нем не нуждается, потому что наличие проекта существенно упрощает работу инженеров на месте монтажа.
Наши инженеры могут предоставить документацию как 2D, так и в 3D формате, в зависимости от потребностей заказчика.
Оформление проектов с учетом требований надзорных органов также возможно.
Прокладка
газовых трубопроводов
Прокладка газовых труб осуществляется вдоль стен, потолка или за потолочным пространством. Для крепления труб используются специализированные профили и также держатели труб типа STAUFF.
При прокладке трубопроводов внутри глухих перекрытий (например, стен) мы используем металлические гильзы диаметра следующего за диаметром трубопровода. Отверстия в чистых комнатах и технических зонах закрываются декоративными заглушками, напечатанными на 3D принтерах. Монтаж трубопроводов внутри чистых комнат желательно производить до их запуска в эксплуатацию.
Способы соединения трубопроводов для особо чистых сред, а также особенности прокладки трубопроводов для опасных газов описаны ниже.
При прокладке трубопроводов внутри глухих перекрытий (например, стен) мы используем металлические гильзы диаметра следующего за диаметром трубопровода. Отверстия в чистых комнатах и технических зонах закрываются декоративными заглушками, напечатанными на 3D принтерах. Монтаж трубопроводов внутри чистых комнат желательно производить до их запуска в эксплуатацию.
Способы соединения трубопроводов для особо чистых сред, а также особенности прокладки трубопроводов для опасных газов описаны ниже.
Способы соединения газовых магистралей
- VCR соединениеТрубное соединение с торцевым уплотнением типа металл-металл герметично как в условиях вакуума, так и при положительном давлении. Течь по гелию 4х10^(-10) ст.см3/с
- Обжимной фиттингCостоит из четырех частей: корпуса, переднего обжимного кольца, заднего обжимного кольца и гайки. Компоновка с двумя обжимными кольцами, передним и задним, компенсирует допуски на наружный диаметр трубы, толщину стенки, твердость материала, и всегда гарантирует герметичное соединение
- Орбитальная сваркаСоединение обеспечивается расплавом металла на торцах труб. Течь через сварной шов можно принять равной течи через сплошной материал
Коаксиальные трубы
Особенности применения и сварки
Сварной шов внешней части коаксиальной трубы и соединительной гильзы.
В случае применения опасных (коррозионных, токсичных, взрывоопасных и т.д.) газов иногда используется коаксиальное исполнение трубопроводов.
Коаксиальное исполнение представляет собой конструкцию труба в трубе. По внутренней трубе подается технологический газ. Пространство между трубами заполняется инертным газом, давление которого контролируется манометром. По показаниям манометра происходит контроль целостности внутренней трубы.
Соединение коаксиальных трубопроводов, используемых для работы с опасными газами, и вне вентилируемых кожухов осуществляется только путем орбитальной сварки. Сварка внутренней трубы осуществляется встык, внешней - либо встык, либо внахлест со специальной соединительной гильзой.
По окончании сварочных и монтажных работ осуществляется доскональная проверка на герметичность обоих контуров коаксиальных трубопроводов.
Коаксиальное исполнение представляет собой конструкцию труба в трубе. По внутренней трубе подается технологический газ. Пространство между трубами заполняется инертным газом, давление которого контролируется манометром. По показаниям манометра происходит контроль целостности внутренней трубы.
Соединение коаксиальных трубопроводов, используемых для работы с опасными газами, и вне вентилируемых кожухов осуществляется только путем орбитальной сварки. Сварка внутренней трубы осуществляется встык, внешней - либо встык, либо внахлест со специальной соединительной гильзой.
По окончании сварочных и монтажных работ осуществляется доскональная проверка на герметичность обоих контуров коаксиальных трубопроводов.
Оборудование и команда
Два главных фактора успеха на рынке ОСЧ газовой инфраструктуры - это качественное и надежное оборудование и профессионализм нашей команды. Даже в монтажных работах принимают участие только инженеры. Сплав брендов уровня Swagelok, Pfeiffer и инженерной школы МГТУ им. Баумана не может не дать синергии.
Отправить запросНажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с Политикой конфиденциальности |