ФМБА

Запуск и подключение установки
плазмохимического травления

Подключение и запуск установок
плазмохимического травления в ФМБА

Установка плазмохимического травления PlasmaPro100 ICP300 Bosh

Подключенные технологические газы: SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂

Оставьте заявку и мы ответим на все ваши вопросы

наши решения

Установка плазмохимического травления и осаждения.
Газы: SF₆, CHF₃, He, N₂, Ar, O₂

Установки травления, атомно-слоевого осаждения и плазменного осаждения
Газы: SiH₄, NH₃, N₂O, SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂, N₂

Установки плазмохимического травления в хлорной и фторной плазме
Газы: Cl₂, BCl₃, SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂, N₂