МИФИ

Запуск и обвязка двух установок
плазмохимического травления

Газовая обвязка и запуск установок
плазмохимического травления в МИФИ

PlasmaTherm Apex для хлорной и фторной химии

Подключенные технологические газы: Cl₂, BCl₃, SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂, N₂

Оставьте заявку и мы ответим на все ваши вопросы

наши решения

Установка плазмохимического травления и осаждения.
Газы: SF₆, CHF₃, He, N₂, Ar, O₂

Установка плазмохимического травления.
Газы: SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂

Установки травления, атомно-слоевого осаждения и плазменного осаждения
Газы: SiH₄, NH₃, N₂O, SF₆, CHF₃, C₄F₈, He, Ar, O₂, N₂